TUOTUO无掩膜光刻机
有机蒸发镀膜生产线与真空产线的设计、定制
原位薄膜断层光谱仪FLAS
功率器件测试系统
数字源表
半导体参数分析仪4200A-SCS
参数曲线跟踪仪2600-PCT
低温探针台CPX
电化学综合测试系统PARSTAT-MC
霍尔测量仪M91
交直流霍尔效应测量系统8400
无液氦综合物性测量系统DynaCoolPPMS® DynaCool™
傅里叶红外光电流测试FTPS
室内光模拟器ILS-30
太阳光模拟器SS-X50 3A级
太阳能电池量子效率测量仪QE-R
条纹相机C10910
综合物性测量系统PPMS
表面张力仪DCAT 25
场发射扫描电镜
高分辨散射式近场光学显微镜neaSNOM
接触角测量仪OCA25视频光学
离子束显微镜ORIONNanoFab
三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G5plus
三维光学轮廓仪Contour GTX
扫描电镜Apreo
微波器件测试系统
光电测试系统
双面测试系统
8寸手动探针台
4寸手动探针台
VIGOR双工位手套箱
磁控溅射
电子枪镀膜
ALD
WESTBOND键合机
热蒸发镀膜机
Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机
Nikon NSR 2205i11D步进式光刻机
有掩膜光刻机
EVG紫外曝光机
Nikon S204B扫描式光刻机
Nikon NSR G线步进式光刻机